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3D白光干涉仪替代激光共聚焦在半导体超精密形貌测量的应用（3...

半导体与精密制造领域中，工件直线度、微观形貌精准测量是品质管控核心环节。激光共聚焦显微镜（LCM）拼接检测普遍存在波纹抖动、形貌错位、数据失真等问题，无法满足IS...

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2026

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微透镜阵列（Microlens Array）平整度（Flat...

微透镜阵列（Microlens Array, MLA）是光电成像、光场传感、精密光刻领域核心微纳光学元件，其基底平整度（Flatness）与单元高度一致性（Hei...

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2026

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07

基于光学轮廓测量的 LNG 深冷蝶阀平面度管控技术

LNG深冷蝶阀（LNG cryogenic butterfly valve）是液化天然气储运系统的核心密封设备，长期处于-162℃超低温工况服役。低温环境易引发阀...

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2026

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LNG 深冷硬密封蝶阀平面度形变机理与光学轮廓测量表征

LNG（Liquefied Natural Gas，液化天然气）深冷硬密封蝶阀是低温储运管路的核心流体控制设备，长期在-163℃超低温工况运行，其密封面Flatn...

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